[10p-A21-1~19] 13.7 化合物及びパワーデバイス・プロセス技術・評価

18:45 〜 19:00

[10p-A21-19] X線光電子分光によるAlN/GaN 界面の化学結合状態評価

〇大矢 青空¹、今井 友貴¹、尾崎 孝太郎¹、伊藤 健治²、牧原 克典¹ (1.名大院工、2.名大未来材研)

キーワード：

X線光電子分光法