講演情報

[10p-C309-13]窒素スカベンジングによるSi熱酸化膜上Geナノシート形成

〇(M2)大西 孝太朗1,2、榊原 涼太郎1、宮田 耕充1、細井 卓治1,2 (1.NIMS、2.関学大院理工)

キーワード:

半導体