講演情報

[10p-C309-2]表面照射型受光器応用に向けたSi上Ge層のトレンチ埋め込み成長

〇野崎 颯1、Piedra-Lorenzana Jose A.1、赤井 大輔1、飛沢 健1、石川 靖彦1 (1.豊橋技科大)

キーワード:

ゲルマニウムエピタキシャル層、トレンチ埋め込み成長、近赤外受光器