[10p-E206-1~10] 16.3 シリコン系太陽電池

15:00 〜 15:15

[10p-E206-6] Cat-CVD SiOxNyパッシベーション膜の薄膜化がパッシベーション特性に与える影響

〇宋 一諾¹、前田 健作¹、大平 圭介¹ (1.北陸先端大)

キーワード：

酸窒化Si、表面パッシベーション、触媒化学気相堆積