講演情報
[10p-E208-1]スパッタ法で作製したSb-Se薄膜の光学的・電気的性質
〇(M2)渡邊 祥吾1、後藤 民浩1 (1.群馬大理工)
キーワード：
相変化メモリ
AIの発展に伴い，高性能メモリへの需要が高まっている．相変化メモリは次世代メモリの候補だが，多成分材料由来の課題があるため，より単純な二元系カルコゲナイド材料への置き換えが望ましい.そこで我々はSb-Se化合物に着目し，スパッタ膜と真空蒸着膜の光学・電気的特性を評価した．電気抵抗率の温度依存性で一般的な結晶化とは逆の抵抗特性が観測された．逆特性のメカニズムと製膜方法が物性に及ぼす影響を検討する．