講演情報
[10p-E208-2]真空蒸着法とスパッタ法によって製膜されたSe-Te薄膜の光学的性質
〇(M2)大竹 柊伊1、後藤 民浩1 (1.群馬大理工)
キーワード：
スパッタ法
カルコゲナイド電気スイッチの研究において，陽イオン元素を含まないSeやTe単体が注目されている。一方，同様に陽イオン元素を含まないSe-Te化合物がどのような電気スイッチを示すか不明である。また，SeやTeの電気スイッチ素子はスパッタ法によって製膜されており，真空蒸着膜での挙動はよくわかっていない。そこで，製膜法の影響を明らかにする目的とし，真空蒸着法およびスパッタ法によって作製したSe-Te薄膜の基礎物性評価を行った。