講演情報
[10p-E208-3]Sn-Seスパッタ膜の光学的・電気的性質
〇(M2)西田 賢一朗1、後藤 民浩1 (1.群馬大学)
キーワード：
スパッタ法、Sn-Se、セレクタ
AIの電力問題の解決策の一つとして，不揮発性で低消費電力の相変化メモリの活用が挙げられる．我々は新しい相変化メモリ，セレクタ材料として二元系カルコゲナイドであるSn-Se系化合物に着目した．真空蒸着法および直流スパッタ法で作製したSn-Se薄膜に対して熱処理を行い，物性を比較した．その結果，スパッタ膜では加熱・冷却時の活性化エネルギーがほぼ等しく，熱処理による結晶化が起こりにくいことを見出した．