講演情報

[10p-E215-15]HAXPESによるTi/シリカガラス界面の化学結合状態評価

〇今井 友貴1、尾崎 孝太朗1、牧原 克典1,2 (1.名大院工、2.IHP GmBH)

キーワード:

硬X線光電子分光、パッケージ基板