講演情報
[10p-E215-2]原子状水素検出用DLCコートQCMセンサの特性とカット方位依存性
〇部家 彰1、新原 晴太1、田中 一平1、住友 弘二1 (1.兵庫県立大工)
キーワード：
原子状水素、ダイヤモンドライクカーボン、水晶振動子
原子状水素密度の簡易測定法としてダイヤモンドライクカーボン（DLC）/水晶振動子（QCM）センサを検討した。DLCは原子状水素中でも改質層を形成せず振動数シフトが直線的に変化し高い再現性を示した。ATカットに比べてSCカットは温度影響が小さく安定で、原子状水素アニール（AHA）処理における初期反応評価にも有効であることが示された。