[10p-E215-1~15] CS.10 6.5 表面物理・真空、7.5 原子・分子線およびビーム関連新技術のコードシェアセッション

14:00 〜 14:15

[10p-E215-3] 光電子制御プラズマCVDで成膜したDLCのラマン分光評価：CH₄濃度依存

〇関 理志¹、金坂 一樹¹、焉 域霖¹、岡部 優希¹、小川 修一¹ (1.日大生産工)

キーワード：

光電子制御プラズマ、DLC