[10p-E215-1~15] CS.10 6.5 表面物理・真空、7.5 原子・分子線およびビーム関連新技術のコードシェアセッション

14:15 〜 14:30奨励賞エントリー

[10p-E215-4] 窒素ドープDLCにおける窒素結合状態：放電様式依存性

〇焉 域霖¹、関 理志¹、津田 泰孝²、吉越 章隆²、小川 修一¹ (1.日大生産工、2.原子力機構)

キーワード：

ダイヤモンドライクカーボン、光電子制御プラズマCVD、XPS

本研究では光電子制御プラズマCVDの放電モードがN原子の化学結合状態を明らかにするため、グローおよびタウンゼント放電で成膜したN-DLC膜について、N原子化学結合状態と放電モードの関係を調べた。