講演情報

15:00 〜 15:15

[10p-E218-7]側壁形状と膜質に着目したTSV構造の I/V特性評価

〇高野拓郎¹、関藤竜平²、居村史人²、田中宏幸³、三浦典子³、原史朗³、青西亨⁴、赤井一郎⁵、寺澤靖雄¹、橋新剛⁵ (1.(株)ニデック、2.(株)Hundred Semiconductors、3.産総研、4.東京大学、5.熊本大学)

TSV、ミニマルファブ