[10p-E301-1~20] 21.1 合同セッションＫ「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

16:15 〜 16:30

[10p-E301-11] β型酸化ガリウム(011)面基板上ハライド気相成長膜の表面形状

〇大島 孝仁¹、大島 祐一¹ (1.NIMS)

キーワード：

酸化ガリウム、(011)、ハライド気相成長