講演情報
[10p-E301-13]（011）面HVPE成長β型酸化ガリウムショットキーバリアダイオードのキラー欠陥：多結晶欠陥の構造
〇江口 正徳1、中庭 正太郎2、サハ ニロイ チャンドラ2、林 家弘3、佐々木 公平3、嘉数 誠2 (1.佐賀大シンクロトロン、2.佐賀大院理工、3.ノベルクリスタルテクノロジー)
キーワード：
β型酸化ガリウム、ショットキーバリアダイオード、キラー欠陥
低残留ドナー濃度で期待される( ) 面HVPEβ-Ga2O3の縦型ショットキーバリアダイオード（SBD）でキラー欠陥の多結晶欠陥の構造が明らかになったので報告する。