講演情報
[10p-E301-17]加熱イオン注入を用いて作製したエンハンスメントモードGa2O3電流アパーチャー縦型トランジスタ
〇(DC)森原 淳1、松尾 大輔2、金野 舜2、臼井 洸佑2、竹村 真哉2、Wang Zhenwei3、Ferreyra A. Romualdo1、田中 浩平2、東脇 正高1 (1.大阪公立大院工、2.日新イオン機器、3.情通機構)
キーワード：
酸化ガリウム、電界効果トランジスタ、加熱イオン注入
本研究では加熱イオン注入を用いて作製したGa2O3電流アパーチャー縦型トランジスタ (CAVET) の電気的特性評価を実施した。結果、作製したCAVETはオン抵抗72.6 mΩcm2、オンオフ比1 × 1011以上、閾値ゲート電圧+ 3.8 V、オフ耐圧756 Vといった値に代表される通り、良好なオン、オフ特性、エンハンスメントモード動作を確認した。特にオフ耐圧は過去のGa2O3 CAVETの報告値から約3倍の大きな向上を達成しており、これらの結果は加熱イオン注入の有用性を示している。