講演情報
[10p-E301-4](010) β-Ga2O3にイオン注入した窒素の熱拡散挙動の評価
〇大槻 匠1、東脇 正高1,2 (1.情通機構、2.大阪公立大院工)
キーワード：
酸化ガリウム、窒素、熱拡散
(010) β-Ga2O3中の窒素の熱拡散について報告する。窒素イオン注入後、アニール処理した試料のSIMS分析を行ったところ、[001]方向では1100℃でも窒素の拡散が起こらないという報告があるが、今回調べた[010]方向では900℃で既に拡散が起きており、実効的な拡散係数が小さいことが分かった。また、MBE成長したGa2O3薄膜でも同様の実験を行ったところ、窒素はエピ層/基板界面近傍で拡散が阻害されて蓄積することが分かった。