[10p-E301-1~20] 21.1 合同セッションＫ「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

15:00 〜 15:15奨励賞エントリー

[10p-E301-7] MOVPE法による(Al_xGa_1-x)₂O₃成長におけるTMAlとTEAlの分解・燃焼機構の比較

〇寺内 悠真¹、佐々木 捷悟²、吉永 純也^1,3、富樫 理恵⁴、古石 真紀子⁵、瀧浪 欣彦⁵、石川 真人⁶、草場 彰⁷、熊谷 義直¹ (1.東京農工大院工、2.九大院理、3.日本酸素（株）、4.上智大理工、5.カノマックスアナリティカル（株）、6.気相成長（株）、7.九大応力研)

キーワード：

有機金属気相成長法、酸化アルミニウムガリウム、トリメチルアルミニウム

(Al_xGa_1-x)₂O₃のMOVPE成長のため、減圧ホットウォール反応炉からのガスサンプリング質量分析により、Al原料であるトリメチルアルミニウムおよびトリエチルアルミニウムの分解および炭化水素燃焼挙動を検討した。