講演情報
[10p-F211-6]枚葉半導体ウェットプロセスでの帯電現象
〇佐藤 雅伸1 (1.SCREENセミコンダクターソリューションズ)
キーワード：
半導体、ウェットプロセス、帯電現象
枚葉半導体ウェットプロセスでは、回転するウェハに超純水を吐出して洗浄を行う際、ウェハ表面が帯電することが知られている。本報告では、半導体枚葉洗浄においてシリコン酸化膜上を純水で洗浄した際に発生する帯電現象について、帯電量の測定方法、洗浄条件による帯電挙動、ならびに除電技術を含めた純水帯電現象の概論を述べる。