[10p-PA2-1~38] 6.4 薄膜新材料

[10p-PA2-1] Sn/SnO₂混合ターゲットを用いた反応性スパッタ法で作製したSnO₂薄膜の構造および電気・光学特性

〇(M1C)野相 陸透¹、賈 軍軍²、金山 慶治¹、野瀬 翔太¹、横田 果歩¹、岡 伸人¹ (1.近畿大、2.早稲田大)

キーワード：

SnO2、薄膜、反応性スパッタ法