講演情報
[10p-PA2-18]機能性ヘテロ接合応用を指向したMOD法によるBi4Ti3O12薄膜作製
〇佐藤 遼尭1、山田 靖幸1 (1.小山高専)
キーワード：
強誘電体、Bi4Ti3O12、MOD法
本研究では、MOD法により熱処理条件を変えBi4Ti3O12薄膜を作製し、結晶相や配向性を評価した。その結果、熱処理時の雰囲気による影響は小さいが、基板の種類や熱処理温度に強く依存することが明らかになった。STO基板上に作製した薄膜については、800℃で熱処理を行った場合に最も配向性が高くなった。これは格子整合の結果c軸優先配向が促進されたことが示唆される。