講演情報

[10p-PA2-24]電気抵抗計測による金属薄膜の水素感応特性と濃度検知機構の基礎的検討

〇(M1C)安藤駿¹、原田亮²、内田ヘルムート貴大^1,2 (1.東海大院工、2.東海大総科研)

パラジウム薄膜、水素センサ、抵抗変化

Pd薄膜の初期状態を基準化し、水素濃度応答に重なる応力・温度の影響を切り分ける研究です。GaAs・Ni基板上に真空蒸着したPd薄膜の膜厚、Pd(111)配向、抵抗特性を評価し、濃度検知機構解明の基礎データを得ました。