講演情報
[10p-PA2-28]SiOバリア膜の光学特性の経時変化
〇室 幸市1、猪俣 崇2 (1.帝京大理工、2.稀産金属)
キーワード：
一酸化珪素、バリア膜、蒸着
SiO（一酸化珪素）バリア膜の市場（電子部品、食品、医療用、化粧、工業用など）が拡がっている。SiOバリア膜は、透明物質として水蒸気や酸素等の低透過性が求められる。我々はこれまで、SiO蒸着膜の水蒸気バリア性と応力に寄与する膜構成及び光学特性や応用（多層膜フィルターの適用）について発表してきた。今回、SiO膜の光学特性の経時変化について調査したので報告する。