講演情報
[10p-PA2-32]RFマグネトロンスパッタ法によるTi/Ag積層膜の光学特性評価
〇(M1)近藤 秀幸1、川村 みどり1、木場 隆之1 (1.北見工大)
キーワード：
銀、チタン、反射率
Ag膜は可視から赤外波長まで高反射率を示すため、望遠鏡のミラーの優れた候補である。しかし、硫化などにより反射率が低下するため、保護層として金属酸化物をALD法で成膜した結果、反射率が低下したとの報告がある。そこで本研究では厚さ3 nm以下の極薄Ti自然酸化物層を挿入したTi/Ag積層膜を作製し、ALD成膜時の保護層として活用するために最適な膜構造を考察する。