講演情報
[10p-PA2-33]真空蒸着法によるAlナノレイヤ積層Ag膜の作製と光学特性評価
〇(M1)大西 颯1、川村 みどり1、木場 隆之1 (1.北見工大)
キーワード：
Ag、積層膜、光学特性
Ag膜は可視光および赤外領域で高い反射率を示すことから望遠鏡ミラーへの応用が期待されるが、耐久性に課題がある。これまでにALD法によるAlOx保護膜の導入が検討されているものの、前駆体によるAg表面の酸化に起因する反射率低下が報告されている。本研究では、AlOx保護層導入の基礎的検討として真空蒸着法によりAl/Ag積層膜を作製し、その光学特性を評価した。また、有限差分時間領域（FDTD）法を用いて積層膜構造の特定を行った。