[10p-PA2-1~38] 6.4 薄膜新材料

[10p-PA2-34] ミストCVDによる白金の成膜条件と結晶性の関係

〇石川 志緒利¹、高橋 勲²、澤水 悠佳²、森本 孝貴¹ (1.(株)クオルテック、2.立命館大)

キーワード：

Pt薄膜、結晶性、ミストCVD