講演情報
[10p-PA2-37]力学物性測定による金属薄膜の膜厚評価の信頼性向上
〇(M2)小池 聖樹1、大西 紘平1 (1.近大)
キーワード：
ナノインデンテーション、膜厚評価、金属薄膜
半導体デバイスで重要な金属薄膜の膜厚を、段差形成を要せず非破壊かつ局所的に評価する手法として、ナノインデンターによる力学物性測定を検討している。本講演では、Si基板単体およびNbバルクとの比較による基板寄与の切り分けと、AFM・レーザー顕微鏡を用いた検証を通じて、硬さ-押込み深さ曲線からの膜厚評価の信頼性向上について報告する。