講演情報
[10p-PA2-38]マイクロコイルへの応用に向けた自己ロールアッププロセスの基礎検討
〇田渕 湧輝1、岡 智絵美1、櫻井 淳平1、秦 誠一1 (1.名大工)
キーワード：
微小電気機械システム、薄膜、金属ガラス
近年，MEMS分野では三次元微細構造を簡便に作製する手法として，薄膜の残留応力を利用した自己ロールアップ構造が注目されている．本研究では，薄膜金属ガラス（Ni₅₇Nb₁₇Zr₂₆）に着目し，熱処理による応力緩和と冷却時の熱膨張差で生じる応力を利用した自己ロールアップ構造について検討した．膜厚および熱処理時間が曲率半径に与える影響を評価し，三次元マイクロコイル形成に向けた曲率制御の指針を示した．近年，MEMS分野では三次元微細構造を簡便に作製する手法として，薄膜の残留応力を利用した自己ロールアップ構造が注目されている．本研究では，薄膜金属ガラス（Ni₅₇Nb₁₇Zr₂₆）に着目し，熱処理による応力緩和と冷却時の熱膨張差で生じる応力を利用した自己ロールアップ構造について検討した．膜厚および熱処理時間が曲率半径に与える影響を評価し，三次元マイクロコイル形成に向けた曲率制御の指針を示した．