[10p-S1-1~20] 13.5 デバイス／配線／集積化技術

16:00 〜 16:15

[10p-S1-10] ZrO AR膜を用いた高感度BSIイメージセンサ

〇中村 成志¹、西 嘉昭¹、横山 敏史¹、小田 真弘¹、高橋 信義¹ (1.TPSCo)

キーワード：

イメージセンサ、反射防止膜