[10p-S1-1~20] 13.5 デバイス／配線／集積化技術

17:15 〜 17:30奨励賞エントリー

[10p-S1-14] ウエハ接合エッジ部における局所的強度低下の可視化と評価

〇(M1)日下部 瑠紀¹、尾形 崚太¹、石井 陽向¹、村上 駿平¹、佐野 麻理恵¹、井上 史大¹ (1.横浜国立大学)

キーワード：

ウエハ接合、ナノインデンテーション試験