[10p-S1-1~20] 13.5 デバイス／配線／集積化技術

17:30 〜 17:45奨励賞エントリー

[10p-S1-15] ウエハ直接接合の剥離挙動に基づく界面化学結合状態の推定

〇(M1)村上 駿平¹、日下部 瑠紀¹、尾形 崚太¹、石井 陽向¹、北川 颯人¹、井上 史大¹ (1.横浜国大)

キーワード：

ウエハ接合、ダブルカンチレバービーム試験