[10p-S1-1~20] 13.5 デバイス／配線／集積化技術

17:45 〜 18:00奨励賞エントリー

[10p-S1-16] 負熱膨張層を用いたTSVの熱応力抑制に関する研究

〇許 以情¹、藍 若波¹、木野 久志¹ (1.九大院シス情)

キーワード：

TSV、負熱膨張