講演情報
[10p-S1-20]量子コンピュータの3次元実装に向けたインジウム配線の作製と評価
〇坂本 裕樹1、加藤 勇志1、小山 聡太1、中村 拓貴1、木野 久志3、福島 誉史1,2、田中 徹1,2 (1.東北大院工、2.東北大院医工、3.九州大シス情)
キーワード：
半導体、量子コンピューター、相互接続
量子コンピュータ実装に向け、3次元インターコネクトへの適用が期待されるインジウム(In)に着目した。スパッタリング法および電解めっき法でIn配線TEGを作製した。成膜手法による影響を調べるため、SEM等による結晶粒径の観察、およびケルビン測定法を用いた電気抵抗の測定により、微細構造と電気的特性を評価した。