[10p-S1-1~20] 13.5 デバイス／配線／集積化技術

15:00 〜 15:15

[10p-S1-6] インラインモニタ技術を用いたGAAFET製造プロセス改善

〇河野 伸¹、八木下 淳史¹、陳 家驄¹、上嶋 和也¹、郷矢 崇浩¹、入沢 寿史¹、松川 貴¹、林 喜宏¹ (1.産業技術総合研究所)

キーワード：

GAAFET、OCD

GAAFET製造工程内における、「垂直入射型OCD測定」を用いたプロセス改善事例を報告致します。