講演情報
[10p-S5-11]薄膜金属を用いた高感度サーマルダイオード赤外線センサに関する研究
〇小林 暁1、花岡 美咲2、新谷 賢治2、園 直樹1 (1.三菱電機情報総研、2.三菱電機先端総研)
キーワード：
赤外線センサ、SOIダイオード
サーマルダイオード赤外線センサの高感度化を目的とし、赤外線吸収材料として窒化チタンを用いた新規画素構造を試作した。新規画素構造領域と従来画素構造領域を同一チップ内に設けた試作チップにて温度感度を比較したところ、従来画素構造比で平均約7％の感度上昇を確認した。この結果はフレネルの式に基づくモデル計算結果と概ね一致している。