講演情報
[11a-A13-1]SiCレーザスライシング加工における加工品質予測モデルを用いたロバスト加工条件の最適化
〇安川 滉啓1、長田 圭一1、納谷 剛志2、岩瀨 比宇麻2、川畑 孝志2、髙石 将輝1 (1.アイクリスタル、2.中村留精密工業)
キーワード：
機械学習、レーザスライシング、最適化
SiCのレーザスライシング加工では、光吸収係数の面内変動により実効エネルギーがばらつくため加工痕が不均一となる。本研究では、学習した加工品質予測モデルを用い、予測品質スコア最大化と、エネルギー低下時の品質スコア低下量最小化を目的とする多目的ロバスト最適化を実施した。最適化で得た条件を6インチSiCウエハ全面照射で検証し、光吸収特性のばらつきに対して均一な加工痕形成を確認した。