講演情報

12:00 〜 12:15

[11a-A31-12]先端半導体パターニングに用いられるアモルファスカーボン膜の構造と物性
―Ramanから得られる知見―

〇亀井利浩¹ (1.産総研先端半導体RC)

アモルファスカーボン膜、ハードマスク、ラマン散乱分光

本研究では、量産用PECVD装置により製膜されたアモルファスカーボン膜（ACF）を包括的に材料評価した上で、Raman散乱分光測定を行い、NMRによって示唆された鎖状sp²炭素種の存在を検証した。