[11a-B21-1~7] 原子層プロセス（ALP：Atomic Layer Process）の解析技術と応用技術（４）

9:00 〜 9:05

[11a-B21-1] オープニング

〇霜垣 幸浩^1,2 (1.東大工、2.北大工)

キーワード：

原子層成長、原子層エッチング、原子層プロセス

原子層プロセスの重要性とそのプロセスサイエンスを議論する場としてシンポジウムを開催することを説明する。併せて，新たに応物ALP研究会が発足し，研究会セッションも行われたことを紹介する。