[11a-B21-1~7] 原子層プロセス（ALP：Atomic Layer Process）の解析技術と応用技術（４） | 2026年第87回応用物理学会秋季学術講演会

セッション詳細

シンポジウム(口頭講演)シンポジウム：原子層プロセス（ALP：Atomic Layer Process）の解析技術と応用技術（４）

2026年9月11日(金) 9:00 〜 11:30

B21 (工学部 B棟)

9:00 〜 9:05

〇霜垣幸浩^1,2 (1.東大工、2.北大工)

9:05 〜 9:35英語発表

〇Hyungjun Kim¹ (1.School of Electrical and Electronic Engineering, Yonsei University)

9:35 〜 10:05英語発表

〇Miin-Jang Chen¹, Yu-Sen Jiang¹ (1.National Taiwan University)

10:05 〜 10:20英語発表

〇(M2)Yichen ZOU¹, Yuxuan Wu¹, Noboru Sato¹, Atsuhiro Tsukune¹, Yukihiro Shimogaki¹ (1.The Univ. of Tokyo)

10:30 〜 10:45英語発表

〇(P)Lucas Fabian Spiske¹, Satoshi Hamaguchi¹ (1.Osaka University)

10:45 〜 11:00英語発表

〇Yuxuan Wu¹, Yichen Zou¹, Noboru Sato¹, Atsuhiro Tsukune¹, Yukihiro Shimogaki¹ (1.Univ. Tokyo)

11:00 〜 11:30英語発表

〇Soo-Hyun Kim¹ (1.Ulsan National Institute of Science and Technology)