[11a-C309-1~14] 15.5 IV族結晶，IV-IV族混晶

9:45 〜 10:00

[11a-C309-4] Si(110)基板上SiGe/Si多層膜のMBE成長と臨界膜厚評価

〇加藤 惠太郎¹、萩原 智大¹、澤野 憲太郎¹、山田 道洋¹、三谷 祐一郎¹ (1.東京都市大)

キーワード：

SiGe、Si(110)、MBE