講演情報

10:15 〜 10:30

[11a-E201-6]新規なLaTiO及びAlTiOダイポール層によるHfZrO₂キャパシタのV_fb調整

〇生田目俊秀^1,2、澤田朋実^1,2、三浦博美^1,2、宮本真奈美^1,2、女屋崇^1,2、塚越一仁^1,2、深田直樹^1,2、ジェバスワンウイパコーン^1,2、右田真司^2,3 (1.物質・材料研究機構、2.最先端半導体技術センター、3.産総研)

ダイポール、LaTiO、AlTiO

本研究では、非常に弱いダイポール力であるTiO₂(TiO) を利用した新たなLa₂O₃-TiO₂(LaTiO)及びAl₂O₃-TiO₂(AlTiO)のダイポール効果について報告する。