講演情報
[11a-E201-7]マルチVth制御に向けたTiO2混合ダイポール層によるVfb制御の検討
〇神岡 武文1,6、生田目 俊秀2,6、松川 浩之3,6、川那子 高暢1,6、森田 行則1,6、Kasidit Toprasertpong3,6、三谷 祐一郎4,6、女屋 崇2,6、深田 直樹2,6、Wipakorn Jevasuwan2,6、塚越 一仁2,6、喜多 浩之3,6、田村 敦史3,6、星井 拓也5,6、岡田 直也1,6、間部 謙三1,6、水林 亘1,6、太田 裕之1,6、松川 貴1,6、右田 真司1,6 (1.産総研 SFRC、2.物材機構、3.東京大、4.東京都市大、5.科学大、6.LSTC)
キーワード：
high-k gate stack、ダイポール、閾値