[11a-E203-1~10] 1.6 超音波

11:30 〜 11:45

[11a-E203-10] UMS技術によるScAlN薄膜のバルク波音響特性評価

〇大橋 雄二¹、花井 彩香²、勝又 彩馨²、柳谷 隆彦² (1.秋田県立大、2.早大先進理工)

キーワード：

ScドープAlN薄膜、SMR型弾性波フィルタ、薄膜バルク波音速

平面超音波材料解析(PW-UMC)システムを用いてSc_xAl_1-xN薄膜のバルク音響特性評価を行った。サファイア基板の音速と厚さを既知として薄膜の厚さ、音速、密度をパラメータとして測定値に最もフィットする値を求めた。基板厚さの絶対精度の課題があるものの評価法の有用性を示唆する結果が得られた。