[11a-E308-1~8] 17.1 成長・成膜・構造制御

10:45 〜 11:00

[11a-E308-8] Mo原料と酸素を用いたCVDによるa軸配向α-MoO₃薄膜の成長

〇小川 友以¹、Krockenberger Yoshiharu¹、Gregus Michal¹、河野 慎¹、小林 正起¹、Wang Shengnan¹、谷保 芳孝¹ (1.NTT物性研)

キーワード：

α-MoO3、a軸配向、酸素を用いたCVD成長