[11a-N101-1~9] 15.4 III-V族窒化物結晶

9:00 〜 9:15奨励賞エントリー

[11a-N101-1] 赤色GaInN系量子殻の多重量子井戸成長のための成長条件に関する検討

〇(M1)鈴木 ひまり¹、堀田 陽生¹、高橋 拓也¹、山田 航己¹、澤崎 晴喜¹、手島 弘喜¹、岩谷 素顕¹、竹内 哲也¹、上山 智¹ (1.名城大理工)

キーワード：

ナノピラミッド、赤色GaInN系LED

本研究では、六角形ナノピラミッド構造を用いて高効率な赤色発光を実現するため、低温での成長条件を検討した。低温では表面拡散が低下し、堆積物が生じるため発光強度が低下した。しかし、V/III比とTMI流量を適切に制御することで、約50nmの長波長化が示され、低温でも良好な選択成長が可能であることが示唆された。