2026年第87回応用物理学会秋季学術講演会
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10:45 〜 11:00
[11a-N102-7]
高濃度MgドープGaNの深い準位に対する活性化アニールの影響
〇(M1)辻 雄大
1
、近藤 泉樹
1
、廣瀬 礼也
1
、長田 和樹
1
、今井 大地
1
、竹内 哲也
1
(1.名城大院理工)
キーワード:
窒化物半導体、深い準位
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