[11a-PA6-1~23] 15.4 III-V族窒化物結晶

[11a-PA6-14] ScN/r-サファイアヘテロ構造の結晶方位と微構造

〇大垣 武¹、坂口 勲¹、大橋 直樹¹ (1.NIMS)

キーワード：

窒化スカンジウム、エピタキシャル成長、微構造