[11a-PA6-1~23] 15.4 III-V族窒化物結晶

[11a-PA6-16] ホウ素と塩素ガスから生成したBCl₃を原料とする層状BNのCVD

〇青山 涼太¹、平岡 晃輔¹、青池 琉希¹、太田 颯真¹、中野 颯斗¹、竹村 晃¹、小南 裕子¹、原 和彦^1,2,3 (1.静岡大総研、2.静岡大光医工、3.静岡大電研)

キーワード：

窒化ホウ素、薄膜、CVD