[11a-PA6-1~23] 15.4 III-V族窒化物結晶

[11a-PA6-17] 減圧CVDにおける層状BNの多形評価（2）

〇平岡 晃輔¹、青山 涼太¹、竹村 晃¹、中野 颯斗¹、小南 裕子¹、嶋 紘平⁴、秩父 重英⁴、原 和彦^1,2,3 (1.静岡大総研、2.静岡大光医工、3.静岡大電研、4.東北大多元研)

キーワード：

窒化ホウ素、CVD、薄膜