講演情報

[11a-PA6-18]ラマン散乱分光法による半極性(11-22)AlNの異方ひずみ評価

〇馬 ベイ1,2、大矢 健世2、赤池 良太2、石谷 義博1、三宅 秀人2 (1.千葉大工、2.三重大工)

キーワード:

ひずみ、AlN、半極性