2026年第87回応用物理学会秋季学術講演会
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[11a-PA6-18]
ラマン散乱分光法による半極性(11-22)AlNの異方ひずみ評価
〇馬 ベイ
1,2
、大矢 健世
2
、赤池 良太
2
、石谷 義博
1
、三宅 秀人
2
(1.千葉大工、2.三重大工)
キーワード:
ひずみ、AlN、半極性
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