講演情報
[11a-PA6-6]プラズマLPE法によるInN層の成長（II）
〇(M1)川井 賢士1、北村 元人1、松村 風翼1、廣瀬 大輝1、吉田 圭祐1、篠田 宏之1、六倉 信喜1 (1.東京電機大工)
キーワード：
窒化インジウム、液相成長
プラズマLPE（Plasma-enhanced LPE）法を用いたInN層の成長について検討を行っている．InNは熱的安定性が比較的低く，成長時にInNの分解が生じやすい．そのため，InN層の成長条件と得られる結晶性の関係を明らかにすることが重要である．今回は，基板温度を変化させてInN層を成長し，その表面形態等の検討を行ったので報告する．